Mined from Scientific Literature: Process Schemas for Atomic Layer Deposition and Etching in Materials Science
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요약 3문장 이내 · 수치는 원문 인용만 — 계산·환산·추정 금지 · 제목은 번역하지 않고 원문 그대로 · 주장은 주장으로 — "개선했다"가 아니라 "개선했다고 보고한다" · 없는 날은 없다고 쓴다 · 금지 표현(최초의·혁신적·판도를 바꿀) 배포 전 자동 검사
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